9-6 ECRスパッタ法で作成したCo-Cr薄膜の磁化の安定性
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概要
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Stability of remanent magnetization in Co-Cr thin films deposited by ECR sputtering was measured. Although the Co-Cr film deposited in cusp magnetic field had a very fine compositionally separated microstructure, time decay of remanent magnetization was small enough for practical use.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1997-07-29
著者
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