反応性ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアのプラズマ酸化処理効果 : 磁気記録媒体
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概要
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The post-oxidation effects of reactive-ECR-sputtered Co-containing ferrite thin films are described, focusing on their morphology and their magnetic and recording properties. A combination of reactive-ECR-sputter deposition and post-oxidation with ECR oxygen plasma was proved to be the best method for preparing Co-containing ferrite thin film media with good magnetic properties, smooth surface, low medium-noise characteristics, excellent roll-off curve, and small thermal fluctuation.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2002-04-01
著者
-
土井 孝紀
戸田工業株式会社創造本部
-
栗巣 普揮
山口大工
-
山本 節夫
山口大学工学部
-
栗巣 普揮
山口大学工学部
-
松浦 満
山口大学工学部
-
田万里 耕作
戸田工業株式会社
-
土井 孝紀
戸田工業
-
平田 京
山口大学工学部
-
和田 宏文
山口大学工学部
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