Mn-Znフェライト薄膜を裏打ち層として用いたCo含有酸化鉄薄膜垂直磁気記録メディア
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概要
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Co含有スピネルフェライト薄膜とMn-Znフェライト薄膜からなる二層膜垂直磁気記録媒体を、ECRスパッタ装置とマグネトロンスパッタ装置を用いた反応性スパッタ法によって作製し、その磁気特性と記録特性について検討した。Mn-Znフェライト薄膜裏打ち層としては、飽和磁化が3.5kGで、抗磁力が60 Oeのものを得た。二層膜メディアでは、Co含有フェライト薄膜単層媒体の約2倍の再生電圧が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-10-31
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