超高/極高真空装置のための真空材料の新展開--超低ガス放出チタン材料製真空装置の開発

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著者

• 栗巣 普揮

  山口大工

• 山本 節夫

  山口大工

• 山本 節夫

  山口大学大学院理工学研究科

• 栗巣 普揮

  山口大学大学院理工学研究科

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