誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr膜の作成 -基板バイアスの効果-

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概要

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• 1997-10-01

著者

• 林 利彦

  山口大

• 山本 節夫

  山口大工

• 松浦 満

  山口大工

• 山時 照章

  山口大学工学部

• 林 利彦

  山口大工

• 山時 照章

  山口大工

• 栗巣 晋揮

  山口大工

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