プラズマ酸化法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの記録特性

概要

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まず最初に、CoFeの合金ターゲットを用いて酸素雰囲気中での反応性スパッタ法によってCoO-Fe_3O_4薄膜を成膜し、次にこれを二種類の方法で酸化させることによってCo-γFe_2O_3に変態させて薄膜磁気ディスクを作製した。用いた酸化法の一つは、従来から提案している大気中で昇温させることによる熱酸化法であり、もう一つは筆者らが最近提案した方法で、電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマ生成法とHeによるペニング電離作用を利用して生成した酸素プラズマを照射するプラズマ酸化法である。プラズマ酸化法で作製した磁気メディアは、大気中熱酸化法で作製した場合と比較して、電磁変換特性、記録密度特性についてはほぼ同等の特性を示し、ノイズ特性についてはより良好な特性を示すことがわかった。また本メディアがもつ特長である高抗磁力特性を生かして、本メディアをマザーメディアとして使用することによって、1600 Oe程度の磁気メディアに磁気転写できることも確認した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-06-10