寄生容量低減によるHEMTIC動作速度の向上,AWAD2006)
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概要
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我々は、配線層間膜起因のゲート寄生容量を低減するためのデバイス技術を開発し、InP-HEMTを集積化したT-FFを90GHzで動作させることを可能にした。今回の報告では、試作したデバイスのSパラメータを解析し、容量低減効果を詳細に検証した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-06-26
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