ポリイミド静電容量型湿度センサの薄膜化による高感度化の検討(機能性有機薄膜・一般)

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概要

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良好な吸湿性を持つポリイミドは、静電容量型湿度センサに応用されている。ポリイミド単層の場合には、相対湿度に対して静電容量がほぼ直線的に変化し、温度依存性もほとんど無かった。しかし、誘電正接に関しては、1kHz以下の領域で値が増加してしまった。これはおそらくイオン分極による影響、もしくは電極から注入された電荷による漏れ電流が原因と考えている。一方、電極間の短絡を防ぐために陽極酸化法による酸化タンタルを導入し、ポリイミドの薄膜化を試みた結果、静電容量は高感度で良好な直線性を示し、誘電正接は低周波において大幅に改善され、さらに温度依存性もより少ないものとなった。また、薄膜化されたポリイミドでも応答速度は2秒程度とセンサとして十分な値を示した。
2005-11-17

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