ソフトリソグラフィを用いた有機薄膜トランジスタ用のソース・ドレイン電極のパターン化の検討(有機デバイス全般・一般)
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概要
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ソフトリソグラフィを用いてトップコンタクト型C_<60>薄膜トランジスタのソース・ドレイン電極の直接パターン形成を試みた。スタンパー上に直接Auを蒸着しC_<60>上に直接転写を試みたがAuの表面エネルギーが大きいため転写は困難であった。そこでAuとC_<60>と相互作用する密着層やPDMSからAuの離型性向上のためにPDMSとAu間に薄い犠牲層を挿入したところAuの転写が可能となった。転写精度はスタンパーに依存するがアスペクト比を考慮することで1μmから2μmの微細パターンを形成することができた。また電極転写によりC_<60>トランジスタを作製し測定した。電極転写により作製した素子であっても移動度0.26cm^2/Vs、閾値電圧20Vと、直接C_<60>上に蒸着法で電極形成したトランジスタと比較しても遜色ない性能であった。
- 2010-10-15
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