ポリイミド薄膜水分センサを用いた防湿膜の水蒸気透過率評価(有機材料,一般)
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概要
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デバイスの封止において高感度で簡便な水蒸気透過率評価技術が要求されている。水蒸気透過率評価法としてモコン法、Ca腐食法、感湿センサ法等が知られる中で本研究では感湿センサ法に注目した。含フッ素ポリイミドは吸着水分量に対して静電容量が直線的に変化し、0-90%RHの広い範囲の相対湿度に対して優れた直線性と1秒以内の高速応答が可能である。本研究ではポリイミド薄膜センサを感湿センサとして用い、ポリイミド薄膜中の水分量を静電容量から検出する事によってバリアフィルム水蒸気透過率評価への応用を検討した。また、ポリイミド薄膜感湿センサを用いてポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムやポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムおよび封止用のUV硬化性樹脂の水蒸気透過率の評価を行った。
- 2009-10-16
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