CYTOP薄膜の誘電・絶縁特性(機能性有機薄膜・一般)
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概要
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スピンコートなどのウェットプロセスにより高品位なアモルファスフッ素化高分子薄膜として応用が期待されるサイトップ(CYTOP: 旭硝子)の誘電特性と絶縁性能の調査を行った。サイトップ膜の自己回復性破壊後における30℃での交流絶縁破壊の強さはおよそ3MV/cmであり、材料固有の誘電正接は10^<-4>程度であった。またI-V特性の結果から漏れ電流も1.5MV/cmにおいて80pA/cm^2以下となり、電気絶縁材料として良質な材料であることがわかった。ガラス転移温度(108℃)前後では破壊のメカニズムが変わることが確認された。ガラス転移温度以上では誘電体損やイオン伝導が大きくなり、絶縁破壊の強さを低下させると考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-11-17
著者
-
田口 裕一
信州大学工学部
-
宮入 圭一
信州大学工学部
-
伊東 栄次
信州大学工学部
-
伊東 栄次
信州大学 工学部 電気電子工学科
-
宮入 圭一
信州大学 工学部 電気電子工学科
-
宮入 圭一
信州大学工学部電気電子工学科
-
宮入 圭一
信州大工
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