反応性スパッタ法により作成したTaOx薄膜の光学的特性 : 熱処理による効果
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概要
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反応性スパッタ法によりTaOx薄膜を作成し,その光学的特性を測定した。まず最初に,屈折率n、減衰定数kをMinkovが報告している薄膜の反射率を利用した方法により測定したところ、これらの値に膜厚依存性や、熱処理を加えた試料と加えなかった試料とでは、その値に差が生じることが観測された。具体的には、熱処理を加えることで屈折率の値は大きくなり、減衰定数の値には差が生じなかった。次に、損失係数の値を測定した。ここでの損失係数は、薄膜中を進む光の1cmあたりの減衰する割合とした。損失係数のグラフからわかる試料内部での光の減衰の大きさは、薄い試料において熱処理の効果が確認できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-17
著者
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