プラズマ重合薄膜(PPE)を応用した蒸着重合ポリイミド薄膜の絶縁性の向上
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概要
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蒸着重合ポリイミド(PI)の高温での電気絶縁性の向上を目的とし, プラズマ重合エチレン薄膜(PPE)との複合構造としたときの直流電気伝導を測定し, 電流の抑制効果を検討した. 単独PI薄膜との比較も含めて電気伝導の評価を行った. その結果, 単独PI薄膜においてみられる高電界の電流密度の急増はプラズマ重合エチレン-蒸着重合ポリイミド薄膜においては観測されず, 電極にAlまたAuを用いた電極試料についても調査したが電極効果は認められていない.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-01-28
著者
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