反応性RFスパッタ酸化タンタル薄膜の誘電特性と熱処理効果
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概要
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- 1999-09-08
著者
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伊東 栄次
信州大学工学部
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伊東 栄次
信州大学 工学部 電気電子工学科
-
宮入 圭一
信州大学 工学部 電気電子工学科
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宮入 圭一
信州大工
-
川俣 常雄
信州大学
-
牧 啓吾
信州大学
-
伊東 栄次
信州大学
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