酸化タンタル薄膜の光デバイスへの応用に関する基礎特性 : 電気的および光学的特性
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概要
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酸化タンタル薄膜による薄膜光導波路の作成を目的とし、試料作成時のスパッタターゲットを替えて作成した薄膜について、電気的および光学的特性を測定し、薄膜の酸化状態と関連していることから調査した。オージェ電子分光分析法により、酸化タンタルターゲットを用いた膜の方が酸化が促進していることが確認された。また、試料の酸化状態によりtanδおよび比誘電率、等価屈折率には違いが見られたが、光伝搬損失には違いが見られず、光伝搬にはバルクの若干の特性の差よりも薄膜の表面および底面界面の方が重要であることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-31
著者
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