プラスチックフィルムの透湿度計測センサ : ポリイミド薄膜方式(有機材料,一般)
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概要
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ガラス基板上にスピンコート法によりポリイミド薄膜を作成し、静電容量型の湿度センサを作製した。ポリイミド薄膜の誘電特性を周波数、温度、湿度依存性を詳細に調査し、薄膜内の水分の分散状態を理論的観点から検討した。さらに、透湿度の評価性能を知るために、PETフィルムを用い透湿度を計測し、通常利用されているモコン法と測定結果を比較したところ、ポリイミド薄膜が高感度湿度センサとして機能することが判明した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-01-18
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