Measurements of Diffusion Coefficient of CF_2 Radical in DC Pulsed CF_4 Discharge Plasma

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1993-10-01

著者

• 後藤 誠

  北陸職業能力開発大学校

• ARAI Toshihiko

  Department of Electrical and Electronic Engineering, Kanagawa Institute of Technology

• GOTO Miki

  Department of Electrical and Electronic Engineering, Kanagawa Institute of Technology

• TAKAYAMA Daisuke

  Department of Electronic and Electrical Engineering, Kanagawa Institute of Technology

• Goto M

  Matsushita Electric Industrial Co.

• Arai Takeshi

  The Faculty Of Engineering Saitama University

• GOTO Masashi

  Matsushita Electric Industrial Co.

• ASOH Yoshinori

  Ushio Inc.,

• SHIMIZU Tetuya

  Department of Electronic and Electrical Engineering, Kanagawa Institute of Technology

• 新井 豊子

  金大院自然

• Goto Miki

  Department Of Electrical And Electronic Engineering Kanagawa Institute Of Technology

• Asoh Yoshinori

  Ushio Inc.

• Arai Toshihiko

  Department Of Electrical And Electronic Engineering Kanagawa Institute Of Technology

• Shimizu T

  Chiba Univ. Chiba Jpn

• Takayama Daisuke

  Toshiba Lighting & Technology Corporation

• Takayama Daisuke

  Department Of Chemistry Graduate School Of Science Tohoku University

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