Positive and Negative Ions in RF Plasmas of SF_6/N_2 and SF_6/Ar Mixtures in a Planar Diode

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1997-02-15

著者

• ISHIKAWA Itsuo

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SUGANOMATA Shinji

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SAITO Yukinori

  Faculty of Engineering Yamanashi University

• Ishikawa I

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Ishikawa Itsuo

  Faculty Engineering Yamanashi University

• Saito Y

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Sasaki Shinya

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Nagaseki Kazuya

  Tokyo Electron Yamanashi Ltd.

• Suganomata S

  Yamanashi Univ. Kofu Jpn

• Suganomata Shinji

  Electrical Engineering Yananashi University

• Suganomata Shinji

  Faculty Engineering Yamanashi University

• Suganomata S

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Nagaseki Kazuya

  Tokyo Electron Ltd., Nirasaki 407-01, Japan

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