Characteristics of Parallel-Plate RF Discharges in C_4F_8 Gas and C_4F_8/O_2 Mixtures

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概要

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• Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
• 1997-08-15

著者

• ISHIKAWA Itsuo

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SUGANOMATA Shinji

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SAITO Yukinori

  Faculty of Engineering Yamanashi University

• Ishikawa I

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Saito Y

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Nagaseki Kazuya

  Tokyo Electron Yamanashi Ltd.

• AOYAGI Kenji

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• HIROSE Yuuji

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• Hirose Yuji

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Hirose Yukio

  Department Of Materials Science And Engineering Kanazawa University

• Hirose Y

  Department Of Materials Science And Engineering Kanazawa University

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