Ionic Species in 13.56 MHz Discharges in CF_4 Gas and Mixtures of It with Ar and O_2

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概要

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• Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
• 1997-07-01

著者

• ISHIKAWA Itsuo

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SUGANOMATA Shinji

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SAITO Yukinori

  Faculty of Engineering Yamanashi University

• Ishikawa I

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Saito Y

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Sasaki Shinya

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Nagaseki Kazuya

  Tokyo Electron Yamanashi Ltd.

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