Mass Spectrometrie Observation of Decomposition Products SF_x (x=1,2) in SF_6 Discharge at 13.56 MHz
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-02-15
著者
-
ISHIKAWA Itsuo
Faculty of Engineering, Yamanashi University
-
SUGANOMATA Shinji
Faculty of Engineering, Yamanashi University
-
NAGASEKI Kazuya
Faculty of Engineering Yamanashi University
-
SAITO Yukinori
Faculty of Engineering Yamanashi University
-
Ishikawa I
Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Ishikawa Itsuo
Faculty Engineering Yamanashi University
-
Saito Y
Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Sasaki Shinya
Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Nagaseki Kazuya
Tokyo Electron Yamanashi Ltd.
-
NISHIMURA Eiichi
Tokyo Electron Yamanashi Ltd.
-
Suganomata S
Yamanashi Univ. Kofu Jpn
-
Suganomata Shinji
Electrical Engineering Yananashi University
-
Suganomata Shinji
Faculty Engineering Yamanashi University
-
Nishimura Eiichi
Uyeki Primary School
-
Nishimura E
Hitachi Ltd. Ibaraki Jpn
-
Suganomata S
Faculty Of Engineering Yamanashi University
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