Characteristics of 1-MHz Discharges in SF_6/Ar and CF_4/Ar Mixtures in a Parallel-Plate System

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1997-03-15

著者

• 佐々木 聡

  東京工業大学 応用セラミックス研究所

• ISHIKAWA Itsuo

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SUGANOMATA Shinji

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• SAITO Yukinori

  Faculty of Engineering Yamanashi University

• KUSUNOKI Hideki

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• Ishikawa I

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Ishikawa Itsuo

  Faculty Engineering Yamanashi University

• Saito Y

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Sasaki Shinya

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Kusunoki Hideki

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• AOYAGI Kenji

  Faculty of Engineering, Yamanashi University

• Suganomata S

  Yamanashi Univ. Kofu Jpn

• Suganomata Shinji

  Electrical Engineering Yananashi University

• Suganomata Shinji

  Faculty Engineering Yamanashi University

• Aoyagi Kenji

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

• Suganomata S

  Faculty Of Engineering Yamanashi University

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