Asymmetrical Emission Profiles from Low-Frequency Discharges in SF_6 and in N_2 Gases in a Planar Diode with a Si-Wafer
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1991-01-15
著者
-
田中 淳一
琉球大理
-
田中 淳一
琉球大・理・海洋自然科学
-
ISHIKAWA Itsuo
Faculty of Engineering, Yamanashi University
-
SUGANOMATA Shinji
Faculty of Engineering, Yamanashi University
-
Ishikawa I
Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Ishikawa Itsuo
Faculty Engineering Yamanashi University
-
Sasaki Shinya
Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Suganomata S
Yamanashi Univ. Kofu Jpn
-
Suganomata Shinji
Electrical Engineering Yananashi University
-
Suganomata Shinji
Faculty Engineering Yamanashi University
-
田中 淳一
琉球・理・海洋
-
TANAKA Junichi
Faculty Engineering, Yamanashi University
-
OZAKI Hideo
Faculty of Engineering, Yamanashi University
-
Ozaki Hideo
Faculty Of Engineering Yamanashi University:(present Address)canon Inc.
-
Suganomata S
Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Tanaka Junichi
College Of Science University Of The Ryukyus
-
Tanaka J
Department Of Chemistry Biology And Marine Science University Of The Ryukyus
-
Tanaka Junichi
Department Of Chemistry Biology And Marine Science University Of The Ryukyus
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