太いCNT上に成長させた細いCNTとその電子放出特性(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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フィールドエミッションディスプレイ(FED)に用いるカーボンナノチューブ(CNT)電子源の電子放出特性を向上させるため、太いCNTの上により細いCNTを成長させたエミッターを開発した。熱CVD法によって金属基板上に直径約40nm程度のCNTがネットワーク状に絡まり合ったCNT膜を形成し、このCNT膜に鉄(Fe)などの触媒金属を蒸着した後、再度CVDを行った。その結果、CNT上に付着した触媒金属から直径3-10nm程度の細いCNTが多数成長し、CNT膜からの電子放出分布の均一性が向上した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-07-27
著者
-
篠原 久典
名古屋大学大学院理学研究科物質理学専攻
-
齊藤 弥八
名大院工
-
斎藤 弥八
名大院工
-
斎藤 弥八
名大工
-
篠原 久典
名古屋大学大学院理学研究科
-
Saito Y
Faculty Of Engineering Yamanashi University
-
Saito Yukinori
Electrical Engineering Yananashi University
-
齋藤 弥八
名古屋大学大学院工学研究科
-
斎藤 弥八
三重大学
-
倉知 宏行
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
上村 佐四郎
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
余谷 純子
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
長廻 武志
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
山田 弘
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
江崎 智隆
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
前岨 剛
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
中尾 剛啓
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
伊藤 雅章
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
櫻井 暁
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
下田 英雄
株式会社ノリタケカンパニーリミテド 開発・技術本部
-
Saito Yahachi
Institute For Materials Research (imr) Tohoku University
-
Saito Yahachi
Technology Development Center Toyohashi University Of Technology
-
Saito Yahachi
Department Of Applied Physics Faculty Of Engineering Nagoya Universtiy
-
齋藤 弥八
名古屋大学 工学研究科 量子工学専攻
-
Saito Y
Faculty Of Engineering Shinshu University
-
Saito Yuji
Department Of Electronic Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Saito Yoshihiko
Toshiba Corp. Semiconductor Materials Engineering Dept.
-
篠原 久典
名古屋大学 大学院理学研究科/高等研究院
-
Saito Y
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Mie University
-
Saito Y
Yamanashi Univ. Kofu Jpn
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