カーボンナノチューブ探針を用いた半導体表面のAFM・KFM測定
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概要
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カーボンナノチューブ(CNT)は走査型プローブ顕微鏡(SPM)の探針として理想的な形状をしている.我々は簡便なCNT探針作製法を検討するとともに, 作製した探針をSPMに適用した.はじめに電気泳動法を用いて従来のSi製カンチレバーの先端にCNTを直接取り付けることでCNT探針を作製した.次にCNT探針を原子間力顕微鏡(AFM)およびケルビンプローブフォース顕微鏡(KFM)に用いて測定を行った結果, 明瞭な表面形状像および表面電位像を得ることができた.またKFM測定において空間分解能を向上させるには, CNT探針と試料の間の距離を縮めることが重要であることを指摘した.
- 2002-01-22
著者
-
篠原 久典
名古屋大学大学院理学研究科物質理学専攻
-
岸本 茂
名古屋大学工学研究科
-
水谷 孝
名古屋大学工学研究科
-
篠原 久典
名大理
-
篠原 久典
名古屋大
-
菅井 俊樹
名古屋大学理学研究科・高等研究院
-
篠原 久典
名古屋大学 大学院理学研究科/高等研究院
-
尾関 宣仁
名古屋大学工学研究科
-
菅井 俊樹
Nagoya University
-
前田 親志
名古屋大学工学研究科
-
水谷 孝
名古屋大学
-
岸本 茂
名古屋大学
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