ピエゾ素子を利用した大流量ガスバルブの開発
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概要
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A pulsed-gas valve with features of (i) high-repetition rate, (ii) high-mass-flow rate, (iii) fast response, (iv) quasisteadiness, and (v) good reproducibility has been developed by using a bimorph piezo-electric crystal. Characteristics of the valve is investigated with a fast-ionization gauge. The newly-developed valve is suitable for pulsed-gas injection with much higher (one order of magnitude) mass-flow-rate, faster response, better reproducibility than those obtained by a commercial piezo-electric valve (VEECO Ltd. Model PV-10).
- 核融合科学研究所の論文
著者
-
岸本 茂
名古屋大学工学研究科
-
岸本 茂
Electrical Engineering Department Nagoya University
-
犬竹 正明
筑波大学
-
犬竹 正明
名古屋大学プラズマ研究所
-
岸本 茂
名古屋大学
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