高感度CdTe光導電膜を用いたビジコン型X線イメージセンサ

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
X線に高い吸収率をもつCdTeは, これまで単結晶の状態でポイントあるいは1次元の放射線検出器に使われてきた.しかし今回, 多結晶薄膜の状態で光電変換膜としてビジコン型のX線イメージセンサに使用した.その結果, 2.58mC/kg/min(10R/min)のX線照射(X線管電圧70kVp)に対し, 信号電流200nA/cm^2と従来のPbOを用いたものに比べ, 約4.5倍の高いX線感度と25lp/mm(20μm)以上の優れた解像度を持つX線ビジコンを開発することができた.さらに, 光電変換膜堆積にスパッタ法を用いることで均一で緻密な大面積膜を得ることができ, 大口径ビジコンターゲットの作製や, 複数ターゲットの同時堆積が可能となった.また, 新しく開発されたX線ビジコンは高い感度を有するため, マイクロフォーカスX線源との組合わせにより鮮明なX線拡大透視画像を得ることができた.
社団法人映像情報メディア学会の論文
1993-12-20

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク