赤外分光エリプソメトリを用いたキャリヤ濃度分布評価アルゴリズム
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概要
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赤外分光エリプソメトリを用いて任意のキャリヤ濃度分布を評価するアルゴリズムを提案し実証した.新しい方法は, フィッティングパラメータの数を二つに減らし, エリプソメータの測定誤差の影響を受けにくくした.この方法を用いることで分布関数を仮定しなくても非破壊非接触でキャリヤ濃度分布の評価が可能であることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-05-25
著者
-
鎌倉 良成
大阪大学工学部
-
谷口 研二
大阪大学工学部
-
坂本 卓也
大阪大学工学部電子情報エネルギー工学専攻
-
中野 浩之
大阪大学工学部電子情報エネルギー工学専攻
-
深谷 恭太
大阪大学工学部電子情報エネルギー工学専攻
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