SC-9-3 Siヘテロ超構造技術とデバイス応用 : 現状と展望
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-08
著者
-
杉井 信之
(株)日立製作所中央研究所
-
山口 伸也
日立製作所中央研究所
-
杉井 信之
日立製作所・中央研究所
-
中川 清和
日立製作所中央研究所
-
宮尾 正信
日立製作所中央研究所
-
山口 伸也
日立製作所・中央研究所
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