杉井 信之 | 日立製作所・中央研究所
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概要
関連著者
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杉井 信之
(株)日立製作所中央研究所
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杉井 信之
日立製作所・中央研究所
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山口 伸也
日立製作所中央研究所
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日立製作所・中央研究所
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日立製作所中央研究所
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日立製作所 中央研究所
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日立製作所中央研究所
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日立製作所中央研究所
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日立製作所中央研究所
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日立製作所中央研究所
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石垣 隆士
(株)日立製作所中央研究所
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(株)日立製作所中央研究所
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日立製作所中央研究所
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鳥居 和功
日立製作所中央研究所
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鳥居 和功
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日立製作所・中央研究所
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鳥居 和功
日立製作所 中央研究所
著作論文
- SiO_2基板上の非晶質Si/Ge積層構造におけるGe拡散と結晶化過程
- 低不純物濃度チャネルで統計ゆらぎの小さい薄膜BOX-SOI(SOTB)のV_ばらつき解析(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
- SiO_2基板上の非晶質Si/Ge積層構造におけるGe拡散と結晶化過程
- SiGe固相成長による原子層レベル急峻ヘテロ界面の形成
- SC-9-3 Siヘテロ超構造技術とデバイス応用 : 現状と展望
- 微細CMOSの特性ばらつき問題を解決するドーパントレスFDSOI : SOTB