木村 紳一郎 | 日立製作所中央研究所ulsi研究部

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• 木村 紳一郎

  日立製作所中央研究所

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• 杉井 信之

  (株)日立製作所中央研究所

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• 土屋 龍太

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著作論文

• 低不純物濃度チャネルで統計ゆらぎの小さい薄膜BOX-SOI(SOTB)のV_ばらつき解析(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
• 高速・低電力シリコンデバイスの現状と将来(ディジタル・一般)
• 高集積DRAMの現状と課題
• 半導体メモリー;DRAM
• 積み上げ拡散層型0.1μm-MOSFET
• 微細CMOSの特性ばらつき問題を解決するドーパントレスFDSOI : SOTB

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