計測器向け7.0ps分解能GaAsディジタル可変遅延マクロセル
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概要
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LSIの高速化に伴い、ATE (Automatic test equipment) 等の計測器のタイミング制御用として10ps以下の高い遅延時間分解能を有する可変遅延回路の必要性が高まりつつある。今回、GaAs 100KGゲートアレイに搭載可能な最小分解能7.0psのディジタル可変遅延マクロセルを開発した。本マクロセルでは (1) ゲート遅延時間以下の分解能を生成可能な新しい放電時間制御方式可変遅延ゲートを63段直列接続した可変遅延マクロセル、(2) 配線遅延時間の小さいメッシュ状エアブリッジ構造を採用することによって最小分解能7.0psを実現した。遅延時間可変幅 (スパン) は438ps〜868psの範囲で調整可能である。本マクロセルと分解能/スパンの大きいマクロセルと直列に接続することによってさらに大きなスパンを実現することが可能である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-01-23
著者
-
東坂 範雄
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所光素子部
-
谷野 憲之
三菱電機株式会社高周波光素子事業統括部
-
日坂 隆行
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
中野 博文
三菱電機株式会社 高周波光素子事業統括部
-
太田 彰
三菱電機株式会社 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
平間 哲也
三菱電機株式会社 光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
大村 隆司
三菱電機株式会社 半導体基盤技術統括部
-
太田 彰
三菱電機株式会社
-
平間 哲也
三菱電機株式会社
-
東坂 範雄
三菱電機株式会社高周波光デバイス製作所
-
谷野 憲之
三菱電機
-
日坂 隆行
三菱電機株式会社
-
谷野 憲之
三菱電機株式会社
-
東坂 範雄
三菱電機株式会社
-
日坂 隆行
三菱電機株式会社光・マイクロ波デバイス開発研究所
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