Co-C系グラニュラー磁性薄膜
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概要
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将来の低ノイズ媒体を目指して、イオンビームスパッタ法により作製したCo-C系の微細構造を検討した。カーボン組成46at%以上のas-depoCc-C膜では、アモルファス相からなるグラニュラー構造が得られること。熱処理により、グラニュラー構造を維持したまま、結晶化させることが可能である。本手法により、10nm程度の微細なCo微粒子をグラファイトにより包みこんだグラニュラー磁性薄膜を作製することができる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-01-23
著者
-
富田 雅人
NTT
-
ドロネー J.
Ntt入出力システム研究所
-
廣野 滋
Ntt入出カシステム研究所
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
富田 雅人
NTT生活環境研究所
-
富田 雅人
Ntt基礎総研
-
富田 雅人
Ntt基礎技術総合研究所
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
富田 雅人
Ntt 生活環境研
-
林 孝好
NTT入出力システム研究所
-
梅村 茂
NTT入出力システム研究所
-
富田 雅人
Ntt基礎総合技術研究所
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
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