摩擦力顕微鏡とその応用
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概要
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臨界角プリズム光変位センサを使用した原子間力顕微鏡(AFM) /摩擦力顕微鏡(FFM)について、その特徴を述べるとともに、その測定例として、溝を形成したガラス表面、Al_2O_3-TiC焼結体表面、潤滑材を塗布したグラファイト表面、摩耗した非品質カーボン膜表面などのFFM像の測定結果を紹介する。さらにFFM像の解釈に関する検討結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-10-20
著者
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廣野 滋
Mesアフティ株式会社
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廣野 滋
NTT境界領域研究所
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梅村 茂
NTT境界領域研究所
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五十嵐 賢
エス・オー・シー(株)
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五十嵐 賢
NTT境界領域研究所
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金子 礼三
もと和歌山大学システム工学部
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金子 礼三
NTTアドバンストテクノロジ-
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安藤 康子
日本電信電話株式会社サイバースペース研究所
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金子 礼三
和歌山大学システム工学部光メカトロニクス学科
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金子 礼三
Nttアドバンステクノロジー
-
安藤 康子
NTT境界領域研究所
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
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