遷移金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的性質
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概要
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金属をカーボンにドープした薄膜では、Coドープカーボン薄膜によるグラニュラー磁気記録媒体、Niドープカーボン薄膜による電気化学センサ用電極材料などの研究が進んでいる。このように、金属をカーボン薄膜にドープすることによって、各種の機能性薄膜が実現できると考えられる。本報では、金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として、RFスパツタ法によって成膜したCoドープおよびNiドープカーボン薄膜について、電気的・機械的特性の評価結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-12
著者
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
矢部 光範
日本自動車大学校
-
上坂 勇
精密機械工学専攻
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矢部 光範
精密機械工学専攻
-
矢部 光範
千葉工業大学工学部
-
岡崎 功
千葉工業大学工学部
-
小野 則雄
千葉工業大学工学部
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三浦 雄祐
千葉工業大学工学部
-
上坂 勇
千葉工業大学工学部
-
廣野 滋
エヌ・テイ・テイ・アフテイ株式会社
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梅村 茂
千葉工業大学
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
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