フッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜の摩擦特性
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概要
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筆者らは,ECRスパッタ法によって,導電性と高い耐摩耗性を備えたフッ素添加カーボン薄膜を作製した.このフッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜について,AFMによる表面粗さ測定,ボールオンディスク型摩擦試験機による摩擦試験を行った.その結果,表面粗さは無添加ECRスパッタカーボン薄膜と比べて変化はなかった.また,摩擦試験の結果,膜中フッ素濃度の増加に伴い摩擦係数は増加した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-12-11
著者
-
沖野 不二雄
信州大学繊維
-
東原 秀和
信州大学繊維
-
沖野 不二雄
信州大学繊維学部素材開発化学科
-
服部 義之
信州大学繊維学部
-
東原 秀和
信州大学繊維学部
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
丹羽 修
産業技術総合研究所
-
鈴木 学
千葉工業大学工学部
-
鎌田 智之
千葉工業大学工学部
-
東峰 裕輔
千葉工業大学工学部
-
昼間 峻
千葉工業大学工学部
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
刀 東風
西安交通大学
-
東原 秀和
信州大繊維
-
梅村 茂
千葉工業大学
-
丹羽 修
産業技術総合研 生物機能工学研究部門
-
鎌田 智之
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
-
刀 東風
西安交通大
-
廣野 滋
MESアフティ(株)開発部
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