ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性(トライポロジー及び一般)

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概要

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筆者らは,ECRスパッタ法によって,導電性と高い耐摩耗性を備えたフッ素添加カーボン薄膜を作製した.このフッ素添加カーボン薄膜について,3種類のシリコン基板上に成膜を行い,比抵抗の測定,スクラッチ試験によるスクラッチ硬さの測定,表面粗さの測定を行った.3種類の基板上に成膜したフッ素添加カーボン薄膜は,CF_4添加濃度の増加とともに導電性の低下,スクラッチ硬さの増加が見られた.また,表面粗さについては変化が見られなかった.一方,高抵抗シリコン基板上の無添加カーボン薄膜のスクラッチ硬さは,通常シリコン基板,低抵抗シリコン基板と比べ高い値となった.表面粗さについても高抵抗シリコン基板では通常シリコン基板,低抵抗シリコン基板と比べ表面粗さが粗いものとなった.これは成膜時にECRプラズマのイオン照射が減少したためと考えられる.
一般社団法人電子情報通信学会の論文
2013-10-11

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