カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響(その1) : ナノインデンテーション評価
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概要
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スパツタカーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響を明らかにするため,ECRスパツタ法,RFスパツタ法によってカーボン薄膜を作製し,種々の温度で熱処理を行い,その膜についてナノインデンテーションによる硬さ評価と四端子抵抗測定による比抵抗の測定を行った.本報ではその評価結果を報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-12
著者
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廣野 滋
Mesアフティ株式会社
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梅村 茂
千葉工業大学工学部
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廣野 滋
エヌ・テイ・テイ・アフテイ株式会社
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小石川 琢磨
千葉工業大学工学部
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三上 直紀
千葉工業大学工学部
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渡辺 雄一
千葉工業大学工学部
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梅村 茂
千葉工業大学
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廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
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梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
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