ECRスパッタ法で作製した無添加および水素添加非晶質力ーボン膜のトライボロジー特性
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概要
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ECRスパッタ法で成膜した無添加および水素添加非晶質カーボン膜について, ラマン分光, 電気抵抗測定, 原子間力顕微鏡によって膜の構造解析, 耐摩耗性評価などを行い, 以下の結果を得た. (1)無添加非晶質カーボン膜はダイヤモンドに匹敵する耐摩耗性を示す. (2)水素添加した非晶質カーボン膜は無添加膜に比べて, 耐摩耗性は低下し, これは膜のポリマー化に起因する. (3)無添加非晶質カーボン膜の耐摩耗性の起源は非晶質グラファイト構造にあると推定される.
- 1996-10-18
著者
-
金子 礼三
和歌山大学 システム工学部 光メカトロニクス学科
-
廣野 滋
Ntt入出カシステム研究所
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
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梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
梅村 茂
NTT入出力システム研究所
-
金子 礼三
もと和歌山大学システム工学部
-
安藤 康子
NTT入出力システム研究所
-
安藤 康子
日本電信電話株式会社サイバースペース研究所
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金子 礼三
和歌山大学システム工学部光メカトロニクス学科
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
-
金子 礼三
和歌山大学
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