スパッタカ-ボン表面へのふっ化炭素系潤滑膜の吸着と安定性-1-光学的観察

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概要

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• 日本トライボロジ-学会の論文

著者

• 安藤 康子

  日本電信電話株式会社サイバースペース研究所

• 金子 礼三

  Ntt 境界領域研

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