カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響 : (その2)AFMスクラツチ評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
スパッタカーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響を明らかにするため,ECRスパッタ法,RFスパッタ法によってカーボン薄膜を作製し,種々の温度で熱処理を行い,その膜についてAFMスクラツチ試験法による耐摩耗性評価と四端子抵抗測定法による比抵抗の測定を行った.本報ではその評価結果を報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-12
著者
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
廣野 滋
エヌ・ティ・ティ・アフティ株式会社
-
笹原 亮行
千葉工業大学工学部
-
落合 徹
千葉工業大学工学部
-
永島 啓輔
千葉工業大学工学部
-
梅村 茂
千葉工業大学
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
関連論文
- ナノカーボン薄膜電極による生体分子の検出
- ナノカーボン薄膜電極による生体分子の検出
- フッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜の摩擦特性
- 金属-カーボン系薄膜の電気的・機械的性質
- 貴金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的性質
- 遷移金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的性質
- ランプ荷重方式による薄膜・表面のAFMスクラッチ試験法
- CoCr膜における組成分離構造の制御と媒体ノイズ
- CoCr磁性薄膜における組成分離構造と媒体雑音
- 非晶質カーボン薄膜におけるCK X線発光・吸収スペクトルの特徴
- ECRスパッタ結晶性カーボン薄膜の耐熱性
- カーボン薄膜のAFMナノウエア試験における通電の影響
- Co-C系グラニュラー磁性薄膜
- Co-C系グラニュラー磁性薄膜
- AFMによる薄膜の機械的特性の評価方法(ナノ・マイクロトライボロジー)
- 金属ドープカーボン薄膜の電気的・機械的特性
- カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響 : (その2)AFMスクラツチ評価
- カーボン薄膜の機械的特性に及ぼす熱処理の影響(その1) : ナノインデンテーション評価
- カーボン薄膜のナノインデンテーション特性に及ぼす膜厚の影響
- チューブスキャナの円運動による AFM ナノウェア試験方法
- AFM ナノウェア評価における表面形状測定条件の影響
- ECRスパッタカーボン膜の構造と機械的・電気的性質
- AFMナノウェア評価における表面形状測定条件の影響
- AFMを用いた極薄膜の密着性と耐摩耗性の評価
- ECRスパッタ法によるカーボン保護膜
- ECRスパッタ法で作製した無添加および水素添加非晶質力ーボン膜のトライボロジー特性
- 小特集の企画にあたって
- 摩擦力顕微鏡とその応用
- 原子間力顕微鏡による薄膜の機械的特性評価 (特集2 マイクロ/ナノトライボロジー)
- 特集「マイクロトライボロジー」(基礎から材料工学への応用)
- ECRスパッタ結晶性カーボン薄膜の耐熱性
- マイナスをゼロにする仕事
- ナノメートルスケールでの薄膜・表面の機械的特性の評価
- AFMによる薄膜の耐摩耗性・密着性の評価法
- ナノカーボン薄膜を利用した機能性電極創成とバイオセンシング
- ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性(トライポロジー及び一般)