原子間力顕微鏡による薄膜の機械的特性評価 (特集2 マイクロ/ナノトライボロジー)
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概要
著者
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廣野 滋
Mesアフティ株式会社
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梅村 茂
千葉工業大学工学部
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大久保 芳彦
JST研究成果活用プラザ石川
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廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
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梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
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