AFMによる薄膜の機械的特性の評価方法(<特集>ナノ・マイクロトライボロジー)
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2005-09-05
著者
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
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廣野 滋
エヌ・ティ・ティ・アフティ株式会社
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大久保 芳彦
JST研究成果活用プラザ石川
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金子 礼三
もと和歌山大学システム工学部
-
梅村 茂
千葉工業大学
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金子 礼三
和歌山大学システム工学部光メカトロニクス学科
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
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