カーボン薄膜のAFMナノウエア試験における通電の影響
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概要
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AFMと導電性探針を用いた電気的モディフィケーション技術において, 加工部は通電による試料表面の破壊と, 探針による機械的スクラッチによって形成される. しかし, 探針の荷重が比較的低い場合, 耐摩耗性を持つ表面は機械的スクラッチによって加工部は形成されない. 本報では, スパッタカーボン薄膜に対し, 低荷重条件で探針走査したときの表面形状への通電の影響について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-01-14
著者
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廣野 滋
NTTアフティ(株)ECR事業部
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廣野 滋
Mesアフティ株式会社
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鎌田 智之
千葉工業大学工学部
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梅村 茂
千葉工業大学工学部
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廣野 滋
Nttアフティ
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細野 隆憲
千葉工業大学
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梅村 茂
千葉工業大学
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
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鎌田 智之
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
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