ランプ荷重方式による薄膜・表面のAFMスクラッチ試験法
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概要
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ランプ荷重方式のAFM引っかき試験法によって、CoCr膜上に形成したカーボン膜の磨耗特性および膜はく離状況を観察し、従来のAFM引っかき試験法と同様の結果が得られることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-12-14
著者
-
渡邉 昌宏
千葉工業大学
-
金子 礼三
和歌山大学 システム工学部 光メカトロニクス学科
-
廣野 滋
NTTアフティ(株)ECR事業部
-
廣野 滋
Mesアフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学工学部
-
廣野 滋
Nttアフティ
-
渡辺 剛
千葉工業大学
-
金子 礼三
もと和歌山大学システム工学部
-
梅村 茂
千葉工業大学
-
金子 礼三
和歌山大学システム工学部光メカトロニクス学科
-
廣野 滋
エム・イー・エス・アフティ株式会社
-
梅村 茂
千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科
-
金子 礼三
和歌山大学
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