廣野 滋 | NTTアフティ(株)ECR事業部

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概要

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• NTTアフティ(株)ECR事業部の論文著者

関連著者

• 廣野 滋

  NTTアフティ(株)ECR事業部

• 廣野 滋

  Nttアフティ

• 金子 礼三

  和歌山大学 システム工学部 光メカトロニクス学科

• 廣野 滋

  Mesアフティ株式会社

• 梅村 茂

  千葉工業大学工学部

• 梅村 茂

  千葉工業大学

• 廣野 滋

  エム・イー・エス・アフティ株式会社

• 梅村 茂

  千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科

• 金子 礼三

  和歌山大学

• 金子 礼三

  もと和歌山大学システム工学部

• 金子 礼三

  和歌山大学システム工学部光メカトロニクス学科

• 天沢 敬生

  Nttアフティエンジニアリング(株)

• 渡邉 昌宏

  千葉工業大学

• 土谷 茂樹

  和歌山大学

• 森下 慎一朗

  日産自動車(株)先行車両開発本部

• 鎌田 智之

  千葉工業大学工学部

• 渡辺 剛

  千葉工業大学

• 林 孝好

  NTT生活環境研究所

• 細野 隆憲

  千葉工業大学

• 安藤 康子

  NTTサイバースペース研究所

• 安藤 康子

  日本電信電話株式会社サイバースペース研究所

• 松尾 誠太郎

  Nttアフティ(株)

• 金子 礼三

  Wakayama University Department Of Opto-mechatronics Faculty Of Systems Engineering

• 及川 秀男

  NTTアフティ(株)

• 鎌田 智之

  千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科

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著作論文

• 導電性探針を用いた原子間力顕微鏡による原子スケｰル摩耗の評価
• ランプ荷重方式による薄膜・表面のAFMスクラッチ試験法
• カーボン薄膜のAFMナノウエア試験における通電の影響
• AFMを用いた極薄膜の密着性と耐摩耗性の評価
• ECRスパッタ法によるカーボン保護膜
• ECRプラズマを用いた高品質薄膜形成(最先端薄膜技術)
• 電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成
• トライボマテリアル : 新しいカーボン膜
• ECRスッパッタ法によるナノ構造制御

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