ECRプラズマによる光学薄膜 (特集:最近の光学薄膜技術)
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概要
著者
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田中 秀尚
Ntt境界領域研究所
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田中 秀尚
日本電信電話株式会社 Nttサイバースペース研究所
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田中 秀尚
Nttフォトニクス研究所
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Tanaka H
Ntt Interdisciplinary Research Laboratories
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Tanaka Hidenao
Ntt Integrated Information & Energy Systems Laboratories
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Tanaka Hidenao
The Authors Are With Ntt Cyber Space Laboratories
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廣野 滋
Nttアフティ
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