マイクロレンズを用いた半導体レーザと光ファイバの集積形結合素子

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概要

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マイクロレンズを用いたCaAs/AlGaAs半導体レーザと光ファイバとの集積形結合素子について述べた.計算により,マイクロレンズのRMS波面収差が0.4λのときでも,単一モードファイバとの結合効率として81%が得られること,および結合効率が80%に低下するz軸方向の位置合わせトレランスが55μmとなることを示した.作製した集積形結合素子と単一モードファイバとの結合において,26%の結合効率と19μmのZ軸方向トレランスが得られることを実証した.結合効率およびトレランスの計算値との差は,ビームサイズの不一致,ファイバガイドの加工誤差などによるものと考えられる.また,複合共振器を構成している本素子の発振スペクトルを測定し,光ファイバから戻り光により多モード発振となることを示した.
社団法人電子情報通信学会の論文
1994-06-25

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