熱磁化制御マイクロリレー
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概要
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機構部品の著しい小型化が期待できるマイクロマシンにとって、リレーは注目される応用の一つである。我々は、電磁型と同じ磁力を利用しながら、コイルが不要なため静電型と同じように簡単な構造が可能な熱磁化制御機構を提案した。今回、この機構を使用した双極型マイクロリレーを、多層プロセスとニッケルめっきにより作製し、電気の開閉動作を確認したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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