マイクロマシン技術の光通信用デバイスへの応用
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概要
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マイクロマシン技術の応用による小型で高性能な光通信用デバイスの開発を進めている。マイクロマシン技術を広義に捉え、Siのマイクロ加工の他に、光ファイバをベースとする微細加工技術とそれらの光デバイスへの応用を試みた。エッチング法や微粒子噴射研削法により先球ファイバを作製し、光素子との接続で優れた結合特性を得た。ファイバを「犠牲棒」として作製したマイクロパイプを用い、小型で低損失、低反射な単ーモード光ファイバスイッチやファイバ間接続用品を実現した。また、Siの異方性エッチング技術を駆使して作製したSiミラーをマイクロ光千渉計や波長制御半導体レーザの構成に応用し、その可能性を見い出した。
- 1996-04-19
著者
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